VPSA制氧系統主要由鼓風機、真空泵、切換閥、吸附器和氧氣緩沖罐組成。原料空氣經吸入口過濾器除掉灰塵顆粒后,被羅茨鼓風機增壓至0.45barg而進入其中一只吸附器內。吸附器內裝填吸附劑,其中水分、二氧化碳、及少量其它氣體組分在吸附器入口處被裝填于底部的活性氧化鋁所吸附,隨后氮氣被裝填于活性氧化鋁上部的沸石分子篩所吸附。而氧氣(包括氬氣)為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產品氣排至氧氣緩沖罐。

當該吸附器吸附到一定程度,其中的吸附劑將達到飽和狀態, 此時通過切換閥,首先經過一均壓降壓過程,將吸附塔死空間內的部分氧氣回收,同時將吸附塔壓力降至微負壓，再利用真空泵對之進行抽真空(與吸附方向相反),真空度為-0.50barg。已吸附的水分、二氧化碳、氮氣及少量其它氣體組分被抽出并排至大氣,吸附劑得到再生。

VPSA的每個吸附器都交替執行以下步驟:---吸附---解吸---沖壓

高頻高速切換閥：

采用標準變壓吸附制氧流程，9套高頻切換閥門（兩個送風；一個風機旁通；兩個真空解吸；一個真空旁通；兩個產氣閥；一個均壓閥），所有閥門都是開關閥，無需調節。 高性能氣動蝶閥采用進口高性能雙偏心氣動蝶閥，品牌為OKM，有專門為變壓吸附制氧配套使用的閥門，開啟速度快使用壽命長。開啟速度很快，更加符合VPSA制氧的工藝要求。保證300萬次切換（36個月），典型的使用業績包括天馬集團、山東玻纖等，都是3年以上的實際良好使用效果。

并且在蘇州地區都設有專門的售后服務中心，售后服務和備件及時有保障。 高性能雙偏心蝶閥，材質為相當于304的全不銹鋼，最*********DN80，最大口徑DN600。 閥門配接雙層不銹鋼帶導流套波紋管，減少閥門震動，并且更換檢修更方便。

真空泵+鼓風機+雙出軸電機 ：

羅茨鼓風機及羅茨真空泵采用雙出軸電機一拖二配置，占地面積小，電機利用率提高。

濕式羅茨真空泵采用專利技術自吸式上水系統，可防止密封水少真空度不足或密封水多轉子沖擊的問題，節約密封水用來，使設備更安全。