原理：低壓吸附真空解吸，在低壓條件下將空氣中的氮氣氧氣吸入，吸附飽和后分子篩在真空的條件下解吸，將氮氣從排放口排放，氧氣進入提純系統，分子篩不斷的吸附解壓從而循環制得純度較高的氧氣（90～95%）。與PSA相比VPSA能耗較低，制氧設備越大其能耗越低。

技術指標

◆產品規模：100-10000Nm3/h

◆氧氣純度：≥90-94%，可根據用戶要求在30-95%范圍內調整。

◆制氧電耗：氧純度在90%時，折合為純氧的電耗為0.32-0.37KWh/ Nm3

◆氧氣壓力：≤20kpa（可增壓）

◆年開功率：≥99%

特點：

◆裝置工藝流程簡單

◆制氧規模10000m3/h以下，制氧電耗更低，投資更??；

◆土建工程量小，裝置安裝周期比深冷裝置短；

◆裝置運行和維護費用低；

◆裝置運行自動化程度高，開停車方便快捷，操作人員少；

◆裝置運行穩定性強，安全性高；

◆操作簡單；

◆采用原裝進口制氧分子篩，性能優越使用壽命長；

◆ 操作彈性強（轉換速度快）
       ◆ 制氧設備，VPSA流程，制氧裝置，制氧站，制氧機